MEMSとは?

用語解説

MEMSって、たまに聞くけどよくわからない。
結局、なんなの??

こういったお悩みをお持ちの方へ、
電子工学やロボット工学などで非常に幅広く利用される、Micro-electromechanical Systems(MEMS)について解説します。

10秒でわかる説明

MEMSとは、日本語で微小な電気機械システムです。
その名の示す通り、超微細な機械的な装置を示します。
一般に、半導体技術を利用して、製造されるため、その大きさは1〜100μmです。

小さいことを活かし、超高速な動作物理的な動きを計測するセンサなどに利用されます。

MEMSの特徴


MEMSは、前節で説明したように、半導体製造の技術を応用して、微細な機械的なシステムを作ることができます。

上の画像は、電子顕微鏡でみた微細な歯車の組み合わせです。
このように、機械システムが構築できていることがわかります

MEMSの特徴の一つは、小さいことです。
小型センサを作るときなどに、大きく役立ちます。

2つ目の特徴は、高速動作ができることです。
物理的な可動部が小さいほど、慣性が小さくなり、高速な動作が可能です。

MEMSの応用

MEMSの応用先は、多岐に渡り、だからこそ多くの分野で注目されております。

小さいことを活かした例として、細胞の操作があります。
生物の細胞1つに対して、特定の物質を注入したり、物理的な操作を行うことができます。

高速動作を活用例としては、インクジェットプリンタがわかりやすいです。
素早く動くプリンタヘッドに対して、1回に射出されるインク量は非常に小さく、超高速に動く必要があります。
ここには、いくつかの方式がありますが、どの手法にもMEMS技術はなくてはならないものです。

参考リンク

以下の動画は、MEMSの説明がよくまとまっています。
英語ですが、わかりやすい映像が多く、見るだけでも理解することができます。

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